欧姆龙OMRON区域传感器，OMRON

保护电路  电源逆接保护，输出短路保护，降低相互干涉功能（异常周波转换开关型）
应答速度  12ms以下  6ms以下
使用环境照明  受光面照明度白炽灯：3,000lx以下，太阳光：10,000lx以下  
周围温度  动作时：-10～+55℃、保存时：-40～+70℃ （不结冰、结露）
周围湿度  动作时：35～95％RH保存时：35～95％RH （不结露）
缘阻抗  20MΩ以上（DC500V兆欧表）
耐电压  AC1,000V 50/60Hz 1min  
振动（耐久）   10～55Hz 复振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
冲击（耐久）   500m/s2 X、Y、Z各方向 3次  
保护构造  IEC规格 IP62
连接方式  导线引出式（标准线长3m）  接插件型  导线引出式 （标准线长3m）

区域传感器是指能感受(或响应)规定的被测量并按照一定规律转换成可用信号输出的器件或装置称为区域传感器。传感器通常由直接响应于被测量的敏感元件和产生可用信号输出的转换元件以及相应的电子线路所组成。 能对区域信号进行采集的传感器称为区域传感器。

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

传感器发生异常时，可推测停机的异常原因，因此可在确定异常部位及处理方法的状态下前往现场，从而在短时间内恢复装置的运行。此外，断线检测除了输出线外，还可无条件检测电源线。

对于难以检测的工件（曲面、光泽、铸件表面），在设计/启动时的误检测需要重新选定传感器或调整设置。E3AS系列不受曲面、光泽、铸件表面的影响，可稳定检测，缩短设计/启动时间

检测低反射率薄工件时，可能无法检测出工件与背景间的段差，导致无法稳定检测。 E3AS-HL则不易受材质和颜色影响，能够检测出段差。

检测距离会因工件的材质和颜色发生变化，导致无法稳定检测。E3AS-HL则不易受材质和颜色影响，无需为每个工件调整传感器。

在新设计和设备改造的时候，由于传感器的设置制约，设备复杂化，有时需要设计工数。使用E3AS系列，扩大传感器的可设置场所，削减设计、启动工数。

传感器外壳采用不锈钢（SUS316L），并以欧姆龙的“不同材质激光熔接技术"提高了不锈钢和树脂的附着力和密封性。

欧姆龙OMRON区域传感器，OMRON