详情介绍
概述SMC2通气控阀,SMC安装要求
特长 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信,多用于半导体工艺设备。
适用各种安全标准。
CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液
HRZ -20~90℃ 1.8~10kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟素化液
特长 在HRZ系列高的基础上,采用了DC变频压缩机,实现了省能化。
兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。
适用于更新周期短的半导体器件,可以灵活地响应不断变化的工艺条件。
概述SMC2通气控阀,SMC安装要求
功能简介:
气控阀介质流动方向应与阀体箭头方向一致,可以外接导压管装置出厂前均通过压力试验,安装时严禁损伤导压装置;阀上的1/2管接头应安装在水泵入口处;可水平安装也可以垂直安装;限流止回阀的需求扬程大于0.1MPa时,先逆时针把四通开大,然后再顺时针逐渐关闭调压阀,关闭过程中出口压力会逐渐增大,直至出口压力为需要扬程时,即完成初调节,反复启闭水泵2-3次,每次运行3-5分钟,出口压力不变即完成调试工作;视水质情况应经常检查出口压力值,当出口压力小于设定值时,应开启过滤器排除污物。
按动作方式分类,可分为直动式和先导式。直接依靠电磁力、气压力、人力和机械力使阀芯换向的阀,称为直动式换向阀。直动式阀的通径较小。先导式气阀由先导阀和主阀组成,依靠先导阀输出的气压力,通过控制活塞等推动主阀芯换向的那部分称为主阀。通径大的换向阀大都为先导式换向阀。先导阀又分成内部先导式和外部先导式。先导控制的气源是主阀提供的为内部先导式;先导控制的气源是外部供给的为外部先导式。外部先导式换向阀切换不受换向阀使用压力大小的影响,故换向阀可在低压或真空压力条件下工作。
专门用于气动系统和气液回路控制
●正反向流动都可能的平衡座阀式
●气控式、外部先导式电磁阀
产品型号:
SMC CDQ2A40-100DMZ-M9BL
SMC JC40-14-150
ITV3050-04F3CL
CM2B32-300Z
CDJ2E16-200Z-B
MBL50-600Z
C96SDB125-75W
C96SDB125-85W
MBB80-100Z
CDQ2D12-10DMZ
MKB25-20RZ
MKB25-20LZ
SMC MHY2-20D
SMC CDM2B40-450AZ
SMC SY7340-5LOZ
AW30-N02-2-B-X430 过滤减压阀
AS2052F-08 调速阀
VBA42A-04GN
V114T-5GZ